微电子技术实训平台建设与实践探索

分类：论文范文 发表时间：2021-04-23 08:45

　　摘要:创新人才培养是当前高等学校的根本任务，实训平台是培养创新人才的重要基地，实训课程也正是为了巩固学生所学知识，培养学生的创造性思维和实践能力。按照电工电子实训课程建设的要求，学校工程训练中心对微电子技术实训平台的建设目标、体系构成、功能分区、教学运行等方面进行了探索和实践，旨在构建创新高技能应用型人才培养的工程实践教学模式，取得了显著的效果。

　　关键词:微电子技术;实训平台建设;教学效果

　　0引言

　　微电子技术是建立在以集成电路为核心的各种半导体器件上的技术，是信息技术的基础和支柱，是21世纪发展最活跃和技术增长最快的高新科技。微电子产业作为国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产业，是世界各国及地区经济科技竞争的战略制高点，也是聚集创新要素和投入资源最多的领域［1-3］。

　　1微电子技术实训平台建设的重要性

　　(1)课程体系建设的需求。作为承担工程实践教学的工程训练中心，我们从“学以致用”的人才培养理念出发，形成了服务于全校学生的以能力培养为核心，融合知识、能力、素质为一体，基于分层次、多模块、重集成的实训教学模式。微电子技术实训的课程是机电工程综合课程体系的主要组成部分，它由工程认识、工程训练、工程综合创新几个层次的教学内容所组成。

　　(2)综合能力培养的需求。工程训练教学的主要目标是培养学生的工程实践能力、技术应用能力、系统设计能力和创新创业能力，而微电子技术实训是实践性教学的重要课程之一，在电子信息技术飞速发展的时代，微电子技术具有极强的渗透性和广阔的发展前景［4］，相关模块的训练可提高学生分析问题解决问题的能力，培养学生科学研究的兴趣，激发学生的创新意识。

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　　2建设目标

　　微电子技术实训平台主要面向理工科专业学生，是一个特色鲜明的实训教学平台，也是产学研一体化的重要体现。它基于半导体物理实验室，按照企业超净车间标准，构建微电子工艺实训平台，净化等级达到万级。实训平台的定位目标是，培养学生较高的工程素质、较强的实验技能和动手实践能力。实训平台既可以满足一般性工程认识工程训练课程教学模块的需要，又可以满足学生完成半导体物理专业课程相关的实训项目和更高层次的创新性项目需要。

　　3平台构成

　　实训平台主要由:缓冲区、更衣室、风淋间、实训教学区、曝光区、气体间等区域构成，如图1所示。

　　(1)缓冲区。为保证实训区域内的洁净度，所有原物料进入实训教学区之前，需先在实训区外拆箱及拭净，并置于缓冲区30min后，方可进入。

　　(2)更衣室。为保证实训区域内的洁净度，保证实训过程中半导体材料不受人体产生的微粒(如皮屑和头发)污染，进入实训教学区域内的所有人员需更换防尘服，佩戴口罩和手套。防尘服采用不掉毛、防静电的纤维制成，可穿在日常衣服的外面。

　　4功能分区

　　在器件及工艺方面，配备了氧化扩散炉、光刻机、匀胶机、刻蚀机、纯水机及烘箱等设备，用于半导体材料的氧化、扩散、光刻、刻蚀等;在材料制备及参数测试方面，配备了四探针测试仪、CVD管式炉、磁控溅射沉积系统、真空镀膜机、退火炉、等离子化学气相沉积台等设备，用于方块电阻、电阻率、膜厚测试等。如图2所示。

　　结语

　　未来建设过程中还将围绕实训平台建立多元化学习机制、实行全方位开放使用，紧密围绕CDIO教育理念，深入研究实践教学模式，大力培养适应职业岗位需求的高技能应用型创新人才。

　　参考文献(Ｒeferences):

　　［1］刘瑞，伍登学，邬齐荣，等．创建培养微电子人才教学实验基地的探索与实践［J］．实验室研究与探索，2004，23(5):6-9．LiuＲui，WuDeng-xue，WuQi-rong，etal．ExplorationandPracticeofBuildingTeachingandExperimentBaseforFosteringMicro-electronicExperts［J］．ＲesearchandExplorationinLaboratory，2004，23(5):6-9．

　　［2］雷瑾亮，张剑，马晓辉．集成电路产业形态的演变和发展机遇［J］．中国科技论坛，2013(7):34-39．LieJing-liang，ZhangJian，MaXiao-hui．TheModeEvolutionofIntegratedCircuitIndustryandItsProspect［J］．ForumonScienceandTechnologyinChina，2013(7):34-39．

　　［3］韦晓月．我国集成电路发展现状及对策分析［J］．电子制作，2013(16):263．WeiXiao-yue．AnalysisonPresentDevelopmentSituationofIntegratedCircuitinChinaandCountermeasures［J］．PracticalElectronics，2013(16):263．

　　管图华1，黄媛媛2

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